山東凈化工程亂流潔凈室的主要特點是從來流到出流（從送風口到回風口）之間氣流的流通截面是變化的，潔凈室截面比送風口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以，送風口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內不可能以單一方向流動，將會彼此撞擊，將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實質是：突變流；非均勻流。這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更全面。紊流主要決定于雷諾數(shù)，也就是主要受流速的影響，但是如果采用一個高效過濾器頂送的送風形式，則即使流速極低，也要產(chǎn)生上述各種結果，這就因為它是一個突變流和非均勻流。山東凈化工程因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發(fā)生的摻混，而且還有全室范圍內的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。

在單向流潔凈室內，從送風口到回風口，山東凈化工程氣流流經(jīng)途中的斷面幾乎沒有什么變化，加上進風靜箱和高效過濾器的均壓均流作用，全室斷面上的流速比較均勻，而至少在工作區(qū)內流線單向平行，沒有渦流。這也就是單向流潔凈室的三大特點。山東凈化工程這里的流線單向平行，是指時均流線彼此平行，方向單一，并且干凈氣流不是一股或幾股，而是充滿全室斷面，所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對室內臟空氣的摻混稀釋作用，而是靠潔凈氣流推出作用將室內臟空氣沿整個斷面排至室外，達到凈化室內空氣的目的。所以，前聯(lián)邦德國有人稱單向流潔凈室的氣流為活塞流、平推流前蘇聯(lián)稱之為被擠壓的弱空氣射流。干凈空氣就好比一個空氣活塞，沿著房間這個氣缸，向前（下）推進，而使塵粒只能前（下）進，沒有返回，山東凈化工程把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出房間。

濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，山東凈化工程冷卻水管壁上會結露，如果發(fā)生在*密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面*難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)**佳溫度范圍為3545%。http://