潔凈室風速檢測方法
1氣流是控制潔凈度與溫濕度的**主要因素,它對噪音也有一些影響。因此風速測量,都是放在無塵室測試的**步。風速測量的目的,是確認濾網(wǎng)送出的氣流滿足設(shè)計規(guī)范,是確認氣流的均勻度。在某些場合可能因現(xiàn)場的限制,室內(nèi)換氣量還應該用風速乘以出口面積來換算。
單**向型無塵室,很多都是設(shè)計成垂直層流,因此風速均勻度非常重要,只有均勻的垂直層流,才能有效排除微粒污染。非單**向型無塵室,由于微??刂频挠^念是稀釋,不是立即排除,一般而言其換氣量遠比風速重要。但是需注明是濾網(wǎng)風速測量或是無塵室室內(nèi)風速測量。
無塵室里面使用的HEPA/ULPA濾網(wǎng),其送出氣流的速度多半都控制在0.5m/s以內(nèi),因此所使用的風速計應該是低速型。濾網(wǎng)風速測量可使用單點式風速計如電子式壓力計配合皮氏管、熱線式風速計。也可以使用多點式風速計如ShortridgeVelgrid16點風速計。輪葉式風速計因使用范圍不同,通常不在無塵室內(nèi)使用。熱線式風速計(HotWire)雖然高頻響應良好,但是低速時〈0.5m/s以下〉準確性很低,因此不很適用,一般熱反應風速計常用的是Thermeister式風速計。轉(zhuǎn)輪式風速計由于本身重量問題,也不適用低速。檢驗儀器須經(jīng)校正合格,且仍在有效期限內(nèi)。
(1)在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號。(2)取樣點位于濾網(wǎng)下方75-150mm處。(3)每一個濾網(wǎng)下,若是使用單點式風速計,則每1平方英尺取一點;若是使用多點式風速計,則每4平方英尺取一點。(4)每測量點應該取5秒的平均。(5)依驗收標準分析所有風速,計算平均值、標準差、相對標準差,并標明不合格測試點。(6)記錄所有原始數(shù)值,以及分析后的數(shù)值。重要的是在非單**向型無塵室測試時,特別注意取樣時風速計不可受到干擾,以免影響準確度。四、數(shù)據(jù)分析
風速測量很簡單,但是均勻度應該由數(shù)據(jù)分析來判定。均勻度是由相對標準差來代表,其計算步驟如下。
1.平均值:2.標準差
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